エキシマレーザ用ミラー

エキシマレーザ用ミラー

低損失かつ高耐力

高精度に研磨された合成石英、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウムの基板上に、主として、フッ化物膜多層膜による低損失かつ高耐力なミラーコートを施しています。耐光強度や反射率、耐環境性などを考慮し、最適な膜設計でご提案させていただきます。
ArFレーザ(193nm)、KrFレーザ(248nm)、XeClレーザ(308nm)、XeFレーザ(352nm)の各波長に対応させていただきます。 通常のレーザーミラーのほか、KrFレーザよりも長い波長では、エッチング技術により多層膜ミラーをパターニングした高耐力フォトマスクも承っております。

主な特徴

エキシマレーザ用ミラー 主な特徴
高いレーザ耐力
世界最高水準KrFレーザミラー
28J/cm2 @248nm,15ns
(レーザコンディショニング)
低い光学損失
R>99.98% @1064nm、低吸収と低散乱

京セラSOCは、1970年代からエキシマレーザ用コ-ティングの開発に取り組んでいます。妥協することなくナンバ-ワンを追求する研究開発により、高耐力エキシマレーザ用ミラ-を完成。193nmから352nmまで、高出力エキシマレーザに対応可能な技術力をもとに、お客様の多様なニ-ズに柔軟にお応えします。

カタログダウンロード

オプティクスカタログ

各種製品に関するお問い合わせは下記までご連絡ください。

TEL 045-931-6592

フォームからのお問い合わせはこちら

お問い合わせ