計測光学系

計測光学系

計測光学系

半導体マスクやウエハの欠陥検出装置、液晶パネルの検査装置、ディスクの検査や計測、レーザ計測、環境計測など、様々な計測用光学系を提供致します。
要素部品は当社コア技術である精密研磨、高耐力コーティングを駆使して製作し、お客様の要望される性能、品質を満足した製品をご提供致します。

技術情報はコチラ

製作実績

●対応波長の製作実績

  • 真空紫外(VUV)
  • 深紫外(DUV)
  • 紫外(UV)
  • 可視(VIS)
  • 近赤外(NIR)
  • 赤外(IR)
  • その他の波長についてもご相談に応じます。

●計測光学系の製作実績

  • 高精度・高NA対物レンズ
  • 集光光学系
  • 観察光学系
  • 照明光学系
  • 検査光学系
  • 投影光学系
  • リレー光学系
  • 分光分析用光学系
  • 高さ検出光学系
  • オートフォーカス光学系
  • アナモルフィック光学系
  • ファイバー出射光学系
  • ファイバー集光光学系
  • ファイバーカップリング光学系
  • ホモジナイザ光学系
  • コリメート光学系
  • ライン集光光学系
  • レーザースキャニング光学系
  • LD用光学系
  • レーザー送信光学系
  • レーザー受信光学系
  • 微分干渉光学系
  • レーザー干渉計
  • ズームエキスパンダ

応用分野

ウェハ欠陥検出装置、マスク欠陥検出装置、レチクル欠陥検出装置、液晶パネル検査装置、レーザレーダ、分光分析装置

設備(クリーンルーム)について

精密光学機器は、内部に僅かな埃が混入することを嫌うため、組立・検査の環境に細心の注意を払う必要があります。
当社はクリーン度別にクラス10万、クラス1万、クラス100の3種類のクリーンルームを備えており、全ての光学機器・光学系の組立・検査をクリーンルームの中で行っています。

設備(クリーンルーム)について

各種製品に関するお問い合わせは下記までご連絡ください。

TEL 03-5450-5133

フォームからのお問い合わせはこちら

お問い合わせ

このページのトップへ